本文提出了一种改进的外差共路干涉仪,用于表面粗糙度的测量,它对机械振动、温度变化等极不敏感,纵向分辨率为0.1nm,可用于表面粗......

We describe and experimentally demonstrate a measuring technique for Mach–Zehnder interferometer (MZI) based integrated......

文本用纵向塞曼双频稳频激光器作光源,提出了一种光学超外差法小平面角的精密测量方法.此方法采用相位干涉测量技术,测角灵敏度可......

Heterodyne detectors as phase-insensitive(PI) devices have found important applications in precision measurements such a......

为提高微型星敏感器的质心定位精度,提出了一种利用外差式激光干涉装置标定图像传感器像素位置偏差的方法,并就像素位置偏差对星点......